Учёные из ИНЭП ЮФУ создали новый метод изготовления наноплёнок из оксида алюминия для современной электроники
Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения (ИНЭП) ЮФУ нашёл новый метод изготовления наноплёнок из оксида алюминия для современной электроники. Эта технология должна обеспечить высокие параметры электронных датчиков. Она имеет преимущество перед аналогами в низкой себестоимости и возможностью управления свойствами получаемого материала. Результаты исследований уже опубликованы в научном издании SPIE Proceedings.
Не является демонстрацией наноплёнок
Создание электронной компонентной базы (ЭКБ) является одни важнейших и приоритетных направление развития науки, технологий и техники Российской Федерации в связи с Указом Президента России от 7.07.2011 г. № 899. И вот учёные ИНЭП ЮФУ предложили новый метод получения наноразмерных мембран из оксида алюминия. Метод основан на синтезе пленки золь-гель методом и её спекании электронным лучом.
Золь-гель метод — это технология получения твердых частиц необходимого материала в пленкообразующем растворе с последующим формированием структурного каркаса. Удаление раствора при сохранении структуры пленки и термическом спекании создают монолитный материал.
Сергей АвдеевДоцент кафедры нанотехнологий и микросистемной техники ИНЭП ЮФУ
«В нашей работе предложен оригинальный способ создания акустического мембранного датчика, диафрагма которого выполнена из монолитного оксида алюминия. Диафрагма из пленкообразующего раствора оксида алюминия наносилась на рабочий диффузор и спекалась электронным лучом.
Существует метод получения датчиков на сапфировой мембране, однако это устаревшая технология, крайне трудоемкая и затратная. Наша технология позволяет получать такие же и более тонкие мембраны с меньшими ресурсными и трудовыми затратами».
По словам специалистов, в последнее время плёнкам оксида алюминия найдено применение в разрабатываемых датчиках поверхностных акустических волн. Основой для таких датчиков служил сапфир, являющийся одной из фазовых модификаций оксида алюминия. Этот материал тугоплавкий, с высокими механическими параметрами и хорошими изоляционными свойства. И вот с помощью электронно-лучевой обработки из материала можно сформировать плёнки с нужными свойствами, создать уникальные поверхности, поверхностные структуры, устранить механические дефекты, удешевить производство компонентов и повысить их качество. Причём эти датчики можно использовать в агрессивной среде, например, в морской воде.
Как заявили учёные ЮФУ, новый метод возможно реализовать на основе отечественных технологий и производственных мощностей. Сейчас специалисты из ЮФУ работают над развитием других технологий создания наноразмерных пленок с различными свойствами, нужными в современной электронике.
