MEMS: микроэлектромеханические системы, часть 118.10.2010 00:02

Даже в повседневной жизни нас со всех сторон окружают микроскопические устройства: гироскопы, акселерометры, микрофоны и другие датчики. Всем этим мы пользуемся, ни о чем не задумываясь. А из этого обзора вы можете наконец узнать, как же все это устроено