MEMS: микроэлектромеханические системы, часть 301.11.2010 00:01

Самый миниатюрный паровой двигатель, самая крошечная парикмахерская, а также видео самого необычного аттракциона - в заключительной части нашего рассказа о MEMS, микроэлектромеханических устройствах