В Новосибирске представили цифровой двойник производства микроэлектроники
Фотолитография — метод получения определенного рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат.
«Мы разработали цифровой двойник для процесса производства микроэлектроники. Теперь разрабатываем платформу. Она будет размещаться на предприятиях микроэлектронной промышленности в Новосибирске и Нижнем Новгороде. Это делается для того, чтобы повысить процесс выхода новых изделий — микросхем», — рассказал вице-премьеру Михаил Марченко, глава проекта Центра ИИ НГУ.
Разработчик уточнил, что цифровой двойник необходим, чтобы собирать данные с оборудования, настраивать его с помощью компьютера, предсказывать поломки. Учеными создана модель фотолитографа, который переносит изображение с фотошаблона на поверхность будущей микросхемы. «Мы моделируем все процессы, и дальше с помощью такого цифрового двойника будет настраиваться оборудование», — сказал он.
Марченко отметил, что цифровой двойник может управлять десятками параметров, в то время как человек может учитывать только несколько. «Было подсчитано, что это даст существенную экономию во времени подбора технологических рецептов», — добавил ученый.
Глава центра ИИ НГУ Александр Люлько уточнил, что проект реализуется по заказу Сбера. «Интерес большой на заводах, в том числе на Новосибирском заводе полупроводниковых приборов (НЗПП)», — уточнил он.
