SK Hynix на EUV-литографию перейдёт не ранее 2021 года
Из числа производителей памяти громче всех о внедрении EUV-литографии говорит Micron, но в не совсем типичном контексте — компания убеждена, что сможет обходиться без этой технологии примерно до 2022–2023 годов, поскольку пока литография со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением остаётся дорогим удовольствием. ASML, которая выпускает профильное оборудование, отмечает рост количества заказов на EUV-сканеры со стороны производителей памяти. Кто же их приобретает?
реклама
Начнём с того, что компания SK Hynix на минувшей квартальной отчётной конференции заявила о намерениях внедрить EUV-литографию в рамках техпроцесса 1α нм, который будет освоен к началу 2021 года. Годом позже будет освоен техпроцесс 1β нм, в рамках которого применение EUV-литографии будет расширено.
реклама
Samsung в этом смысле всех основных конкурентов опережает. Ещё в рамках техпроцесса 1z нм в конце этого года EUV-литография будет применяться при производстве микросхем оперативной памяти в качестве эксперимента, не более одного слоя. Уже в рамках 10-нм техпроцесса четвёртого поколения (1α нм) в следующем году количество обрабатываемых при помощи EUV слоёв будет увеличено до четырёх. По словам представителей компании, переход на EUV позволит снизить сложность технологической оснастки и производства памяти на 50%.
