«Росатом» запускает производство гексафторида вольфрама высокой чистоты: он используется для производства полупроводников
[unable to retrieve full-text content]
Учёные госкорпорации «Росатом» создали технологию производства гексафторида вольфрама высокой чистоты. Сейчас уже проектируется первая в России площадка, где это соединение будут выпускать в промышленных объёмах — с полным циклом: от реакторов до аналитического оборудования. Разработку ведёт НИИ НПО «Луч». Там сделали опытные установки для двух ключевых этапов очистки — сорбционной и ректификационной. Кроме того, завершены методики контроля качества: научились точно измерять, сколько в материале примесей, в том числе газовых и металлических.
Изображение сгенерировано Grok
«Нам удалось создать уникальное оборудование для оснащения нового производства», — сказал генеральный директор НИИ НПО «Луч» Павел Карболин.
Фото: Росатом
Шестифтористый вольфрам используется в разных отраслях промышленности, в том числе при производстве полупроводников — он способен вступать в качественные реакции с кремнием, водородом, силаном и германом.
© iXBT
