Китай создал «маленький литограф» для 14-нм чипов
Компания Huiran Microelectronics представила собственную локализованную версию CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope). CD-SEM — это специализированный растровый электронный микроскоп, который измеряет микронные и нанометровые размеры элементов на полупроводниковых пластинах Это измерительный прибор, который используется после литографии, его еще называют «маленьким литографом», как пишет IT Home.
В интервью СМИ председатель совета директоров компании Huiran Microelectronics, доктор Ван Чжиганг, отметил, что локализация производства CD-SEM сталкивается с тремя основными препятствиями: технологической интеграцией, накоплением опыта и ноу-хау, а также поддержкой цепочки поставок.
Источник изображения: Изображение сгенерировано в Grok
Компания Huiran Microelectronics успешно разработала оборудование для 12-дюймовых пластин, которые выпускаются по 14-нм и 22-нм техпроцессу.
Сообщается, что ряд измерительных устройств компании уже внедрены и стабильно работают на линиях массового производства заказчиков с развитыми технологическими процессами в Китае.
Компания Huiran Microelectronics заняла лидирующую позицию во внедрении технологии искусственного интеллекта в свою систему измерений и анализа. Благодаря глубокому обучению ей удалось улучшить качество изображений, полученных при сканировании одного кадра, до уровня, близкого к качеству изображений, полученных при сканировании 64 кадров, что, как заявляет компания, повысит эффективность производства в соответствующих технологических процессах более чем в 10 раз.
© iXBT
