Краткая история космических микропроцессоров, часть вторая

Это вторая часть статьи про историю микропроцессоров для космического применения. Первая часть — вот здесь. В ней на примерах американских и европейских микросхем мы посмотрели на историю развития радстойких чипов от первых однокристалльных процессоров до конца двухтысячных, когда проектные нормы космических разработок плотную подобрались к рубежу 100 нм.

Следующий большой шаг в обеспечении радиационной стойкости наступил с переходом на суб-100 нм, где практически каждое следующее поколение технологии приносит новые вопросы: меняются материалы, меняются требования к топологии, растет статическая мощность (утечки безо всякой радиации, которые под дозой становятся еще хуже), продолжает расти значимость одиночных эффектов, которые превращаются во множественные. Эти задачи потребовали разработки новых подходов и, что удивительно, частичного возврата к старым, потому что часть вещей, отлично себя зарекомендовавших на нормах 1–0.18 мкм, на более тонких нормах не работает. Например, в таких технологиях для повышения выхода годных запрещено делать любимые дизайнерами радстойких чипов кольцевые транзисторы. О том, как дизайнеры справляются с новыми вызовами, я расскажу на примере России — и заодно сравню достижения наших соотечественников с успехами иностранных коллег и покажу, чего стоит ожидать в обозримом будущем.

Современность — на примере России


Я выбрал Россию для иллюстрации современного этапа не потому, что российские разработки чем-то выделяются на мировом уровне, а потому, что про что-то более старое писать бессмысленно. В СССР было много крутых микросхем, но вся информация об изделиях двойного назначения была засекречена, и сейчас без формы допуска можно найти только байки вида «после аварии в Чернобыле к разработчикам роботов для разбора завалов приехал лично Горбачев на чорном вертолете и привез радстойкий микропроцессор ВМ6» (на самом деле ключевые слова «сохраняет работоспособность в широком диапазоне воздействия механических, климатических и других факторов» содержатся в описании не «ххххВМ6», а 1806ВМ2). Бывают случайные мелочи: в комплекте 1839 серии, по имеющимся интервью разработчиков создававшейся для промышленных нужд, есть чип Н1839ВЖ2 — элемент голосования. В обычных компьютерах мажоритарный элемент ни для чего не нужен, но если немного погуглить, можно выяснить, что 1839 серия стоит в бортовых компьютерах спутников «ГЛОНАСС-М». Жаль только, что такое количество данных не позволяет ничего написать. Кроме того, к моменту появления радстойких микропроцессоров СССР уже плотно встал на путь копирования западных разработок, так что особенных инноваций ожидать все равно не приходится.

Девяностые в микроэлектронике прошли под знаком выживания и выжимания последних соков из советского наследия. Условный перелом наступил в 2003 году, который выдался богатым на события: в НИИСИ РАН была запущена собственная фабрика с проектными нормами 500 нм, на «Ангстреме» пошли в серию первые процессоры семейства «Мультикор», была основана компания «Цифровые решения», в бывшем до того дистрибьютором «Миландре» открыли дизайн-центр. Дальше случилась Федеральная целевая программа «Развитие электронной компонентной базы и радиоэлектроники» на 2008–2015 годы, не достигшая заявленных целей (45 нм к 2015 году, объем продаж 300 миллиардов рублей и т.д. и т.п.), но все же сумевшая серьезно помочь российской микроэлектронике. Прямо сейчас в России приблизительно 150–200 дизайн-центров, занимающихся разработкой интегральных микросхем, от гигантов типа «Микрона» до команд из пяти-шести человек, занимающихся нишевыми вещами. Подавляющее большинство этих команд так или иначе работает с госзаказом и создает продукты двойного назначения. При этом десятилетие между 2003 и 2014 годами прошло не только в разработке новых российских микросхем и попытках преодоления уже катастрофического разрыва с зарубежными производителями; более сложной задачей, чем создать новые микросхемы, стала задача убедить производителей систем начать их применение. Системщики же после исчерпания советского задела в большинстве плотно пересели на импортные компоненты, которые были лучше сделаны, лучше документированы, более надежны, более доступны — в общем, действительно не было причин поступать иначе. Дальше — заколдованный круг из обратной совместимости и переиспользования имеющегося задела, благодаря которому подтянувшиеся отечественные разработки все равно продолжили оставаться за бортом. Справедливости ради, среди производителей бортовой радиоаппаратуры были и есть компании, принципиально и последовательно сотрудничающие с отечественными разработчиками электронных компонентов, но в целом ситуация в отрасли выглядела примерно так:

Цитата из интервью Николая Тестоедова, директора крупнейшего российского производителя космических аппаратов ИСС имени Решетнева:

— На военных спутниках связи «Благовест» большая доля зарубежных составляющих?
— Там соотношение тоже было не очень удачное, потому что до 2014 года, когда еще не было ни рисков, ни ограничений, мы закупили большое количество иностранных комплектующих. Сроки создания спутников для Минобороны были важнее.

Кажется, я чего-то не понимаю в определении слова «риск». Зато раз в военных аппаратах можно применять импортные комплектующие, мы можем предположить, что «закладки» в микросхемах или не существуют, или отваливаются во время запуска из-за перегрузок.

Резкая перемена наступила в 2014 году, когда из-за санкций хорошие импортные микросхемы двойного назначения совершенно неожиданно стали недоступны. Тут, казалось бы, был отличный момент, чтобы собраться и перейти на отечественные разработки, но вместо этого российская микроэлектроника вновь встала на скользкие рельсы копирования или, как теперь говорят, импортозамещения. Впрочем, я слишком увлекся лирикой, поэтому давайте добавим ее еще и перед тем, как посмотреть на суб-100 нм проектные нормы, коротко посмотрим на состояние дел в российских космических микропроцессорах и микроконтроллерах по итогам десяти лет развития и пяти лет импортозамещения.

Зоопарк


Пока в США наблюдается де-факто монополия Power, а в Европе — SPARC, в России расцвели все цветы на всех архитектурах.

  • ARM: три модели радстойких микроконтроллеров на базе ядер Cortex-M0 и Cortex-M4F производит «Миландр», ещё один Cortex-M0 — альянс «Ангстрема» и «Цифровых решений», и ещё три Cortex-M4F — НИИИС.
  • MIPS: «MIPS-совместимые» ядра RISCore32 управляют четырьмя гетерогенными радстойкими процессорами «Мультиборт» разработки НПЦ «Элвис»; «MIPS-подобные» ядра КОМДИВ стоят в разработках НИИСИ, НИИИС и НИИМА «Прогресс».
  • SPARC: головной исполнитель ОКР по разработке российского LEON4 (1906МВ016) — воронежский НИИЭТ. Интересно, что Московский центр SPARC-технологий (МЦСТ) ни при чем. Видимо, имеющийся у воронежцев опыт проектирования радстойких чипов оказался важнее.
  • AMCS-96: вообще MCS-96 — это 16-битная архитектура, но сумрачные воронежские гении из НИИЭТ сделали для нее 32-битное расширение и собрали на нем радстойкий микроконтроллер.
  • PowerPC (почти есть): существует чип от НТЦ «Модуль», у которого не заявлена радстойкость, но который предназначен для «бортовой аппаратуры». Видимо, для авионики.


Кроме этого, есть несколько 8- и 16-битных микроконтроллеров, некоторый выбор DSP/VLIW (своих и чьих-то «аналогов»), и далее практически все что угодно: память, БМК, FPGA, FPAA, АЦП, ЦАП, СВЧ, дискретные приборы. Какие-то микросхемы космического применения есть практически на любой вкус –, но дело в том, что нужны не какие-то, а конкурентоспособные, хорошо документированные и хорошо поддерживаемые, а со вторым и третьим пунктами у российских производителей все традиционно было (да и есть, чего уж там) плохо.

zrvpsejpffdpasyyeyitreel_10.png


Рисунок 11. Ещё ремарка к вопросу о разнообразии отечественных микропроцессоров: вот так обычно выглядит «импортозамещенный» процессорный модуль. Флагом «у нас отечественный процессор» помахали, а дальше продолжаем в обычном режиме. Это же фото в принципе можно использовать как иллюстрацию масштабов того, сколько всего необходимо импортозамещать.

Отступление про цифры
Проектные нормы — отличная маркетинговая цифра, имеющая не так много отношения к реальным размерам транзисторов и действительно важная для ограниченного ряда применений, к которым относятся обработка данных, хранение больших объемов и FPGA, где очень много металла и транзисторов уходит на соединение вычислительных блоков. Во всех остальных приложениях проектные нормы не так критичны: современные коммерческие микроконтроллеры производятся по нормам 180–90 нм, а силовые микросхемы — 180–600 нм, а то и больше. Выбор технологии зависит от многих факторов, в первую очередь от задач, которые необходимо решить. Космических микросхем это тоже касается, и, несмотря на все растущие объемы обработки информации на борту, значительная часть микросхем на борту занята совсем другими вещами — управлением актуаторами, телеметрией, преобразованием энергии, радиосвязью — и потому не требует самых новых проектных норм.

Если производить чипы за рубежом, то прямо сейчас для продукции, про которую вы не заявляете, что она двойного назначения нет ни рисков, ни ограничений, и можно запускаться на чем угодно. Для производства в России сейчас доступны технологии с проектными нормами до 90 нм, однако «рабочие лошадки» для радстойких чипов большинства российских разработчиков — 180 нм объемная технология «Микрона» и их же 240 нм КНИ-процесс. У фабрик, впрочем, тоже полно проблем с санциями из-за импортных расходных материалов и оборудования, но это отдельная длинная и печальная история.


9a957092ea1c3eb9c6db3c9e0683da50.png


Рисунок 12. Сравнение мест возникновения токов утечки в объемном и КНИ МОП транзисторах. Утечки — основная причина параметрических отказов, вызванных полной дозой излучения. Рисунок наглядно показывает, что КНИ не решает всех проблем с радиационной стойкостью, но принципиальное отсутствие тиристорного эффекта из-за полной изолированности каждого транзистора здорово облегчает разработчикам жизнь, за что многие из них очень любят КНИ.

Так как радиационной стойкостью в России кто только не занимается, упомянуть всех будет решительно невозможно (да и информацию о разработках не раздают на каждом углу), я коротко расскажу о трех компаниях, которые занимаются космическими микросхемами не от случая к случаю, а системно — и, разумеется, занимаются микропроцессорами и микроконтроллерами. Эти компании — «Элвис», «Миландр» и НИИСИ. Я был бы еще рад подробно рассказать про разработки НИИЭТ, но про приемы их защиты от радиации оказалось сложно найти что-то более конкретное, чем общие слова вида «специальные конструктивные и схемотехнические решения, реализованные в микроконтроллере, обеспечивают его устойчивую работу при уровне накопленной дозы не менее 250 Крад и линейной потери энергии (ТЗЧ) до 60 МэВ ∙ см2/мг». Исключение — их LEON, но там все то же самое, что в любом другом LEON-FT — троированные триггеры и помехоустойчивое кодирование в памяти.

АО НПЦ «Элвис»


Компания «Элвис» с начала двухтысячных развивает платформу «Мультикор», представляющую собой комбинацию на одном кристалле управляющего RISC-ядра и DSP. Системную работу с обеспечением радиационной стойкости они начали примерно тогда же, совместно с кафедрой электроники МИФИ, сначала на зарубежных технологиях; после появления на «Микроне» собственной 180 нм технологии «Элвис» стали одними из первых внешних клиентов, разработав радстойкую библиотеку логических вентилей и набор IP-блоков для создания систем на кристалле. В описаниях большинства микросхем платформы «Мультиборт» (радстойкая версия «Мультикора») красуется надпись «микросхема разработана и произведена на территории РФ». Набор чипов предназначен для построения бортовых сетей передачи данных по стандартам SpaceWire и SpaceFibre и включает процессоры, DSP, память, PLL и коммутаторы.

«Элвис» с самого начала активно участвует в создании и развитии европейского стандарта передачи данных на борту КА SpaceWire (американцы используют свой стандарт — RapidIO), принимая участие в совещаниях международной рабочей группы и являясь главным драйвером внедрения ещё более быстрого стандарта SpaceFibre.

x8k-7ryy-hckpeffyjp1a2gvfwi.png


Рисунок 13. Структурная схема процессора 1892ВМ206. Частота работы RISC-ядра — 120 МГц, DSP-ядер — 140 МГц, четыре порта SpaceWire по 300 Мбит/с, два порта SpaceFibre 1.25 Гбит/с и дальше разное полезное по мелочи.

Исполнение на собственной радстойкой библиотеке во всех микросхемах заявлено как основной способ достижения радиационной стойкости. Подробностей о каких-то архитектурных приемах в описаниях на официальном сайте мало, и поиск по публикациям не сделал картину яснее, потому что публикуется «Элвис» мало и в основном на другие темы. Для всех процессоров заявлено кодирование по Хэммингу всей памяти, и в одном из чипов — тройное резервирование регистрового файла и дерева тактовых сигналов. Отнесясь к полноте этой информации со здоровым скепсисом, допустим, что архитектурная защита в «Мультибортах» несколько менее развита, чем в LEON-FT.

АО ПКК «Миландр»


Другой производитель, много занимающийся радстойкими микросхемами — это «Миландр». Большинство их радстойких чипов так или иначе предназначено для систем бортовой телеметрии — это чипы обработки сигналов с датчиков, аналоговые и цифровые коммутаторы, АЦП, память и, конечно, предмет нашего интереса — три микроконтроллера. Точнее, не три, а два с половиной, потому что 1986ВЕ8Т и 1986ВЕ81Т оба имеют на борту ядра ARM Cortex-M4F, идентичные наборы периферии и различаются только типом памяти программ — ПЗУ в первом случае и SRAM во втором. Предположим, что вариант со SRAM на самом деле нужен для отладки варианта с ПЗУ. 1923ВК014 снабжен более скромным ядром ARM Cortex-M0 и является частью набора микросхем для организации многоканальной системы датчиков, и этот чип — не микроконтроллер в привычном понимании, а специализированный контроллер, заточенный под конкретное применение.

В спецификации на 1986ВЕ8Т и 1986ВЕ81Т (она у них общая) можно найти описание «контроллера обработки событий отказов, сбоев и ошибок», включающего в себя в том числе функциональность парирования одиночных сбоев, подобную той, которая выше описана на примере процессора ERC32, а также подробное описание функционирования помехоустойчивого кодирования (SECDED код Хэмминга) в разных типах памяти. Никакой открытой информации про, например, тройное резервирование триггеров или дерева тактовых сигналов мне найти не удалось, так что давайте будем считать, что с точки зрения архитектурной сбоеустойчивости 1986ВЕ8Т находится между ERC32 и LEON-FT.

uzxbi0r4mfe7ywlohhwimz1aq88.png


Рисунок 14. Разрез SOI BCD с высокольтным LDMOS транзистором в изолированном кармане

Технологическая основа для большинства радстойких чипов «Миландра» — библиотеки и набор IP собственной разработки на 180 нм BCD SOI техпроцессе немецкой фабрики XFAB. Эта технология, в отличие от обычной КНИ, имеет толстый приборный слой кремний (порядка микрона) и в большинстве случаев ведет себя, как обычная объемная технология. Наличие скрытого оксида позволяет организовать диэлектрическую изоляцию элементов друг от друга и таким образом гарантировать отсутствие тиристорного эффекта, а то, что он находится на большой глубине, позволяет не беспокоиться по поводу утечек на границе кремния и скрытого диэлектрика, уменьшающих дозовую стойкость обычной КНИ технологии.

skpchzii1jq_vjg-kengdxxbzwu.png


Рисунок 15. Сравнение двух радстойких элементов ИЛИ.

На рисунке показаны два одинаковых логических элемента (двухвходовое ИЛИ) из миландровских библиотек, выполненных с применением разных способов повышения радиационной стойкости. Слева можно видеть кольцевые n-канальные транзисторы, полностью нейтрализующие внутритранзисторную утечку. Однако часто такая радикальная мера избыточна, так как для умеренных доз радиации вполне хватает обычных линейных транзисторов (иногда с небольшими изменениями), и за счёт их применения можно добиться достаточной стойкости при меньшей площади и энергопотреблении — что наглядно и показано на рисунке.

Важная особенность выбранной «Миландром» технологии — наличие в ней транзисторов и других элементов, рассчитанных на работу с высокими напряжениями — до 200 В. Интеграция цифровой логики и силовых приборов на одном кристалле позволяет создавать высокоэффективные DC/DC преобразователи, драйверы ключей, микроконтроллеры с интегрированными драйверами и много других востребованных вещей. Прямо сейчас эти возможности не используются, но когда начнут, «Миландр» получит серьезные конкурентные преимущества над другими разработчиками, потому что прямых аналогов этой технологии в России нет; или 180 нм на напряжения 3.3 В, или высокие напряжения на проектных нормах 1–3 мкм. Работы на тему высоковольтных LDMOS (и даже их радстойкости) публикует последние пару лет НИИСИ, но пока что это только научные публикации, и о серийном производстве речи нет. Ещё весной была новость о том, что проектные нормы 500 нм «для микросхем источников вторичного питания» освоили на Брянском «Кремнии-Л», но никаких подробностей не последовало.

xc1ig4zrs0_f1tp5qhv_jwxs2au.png


Рисунок 16. Дорожная карта развития радстойких разработок «Миландра» на технологии BCD SOI 180 нм. И да, вы правильно видите в правом нижнем углу слово «ПЛИС», она у них уже есть и работает.

ФГУ ФНЦ НИИ Системных Исследований РАН


НИИСИ системно исследует вычислительную технику, в том числе и радстойкие микропроцессоры космического применения. Системные исследования, как и положено академическому институту, подразумевают KPI по количеству публикаций, поэтому следить за прогрессом института намного проще, чем за коммерческими компаниями. Нас с вами интересует «космическая» часть линейки «КОМДИВ» (есть ещё «высокопроизводительная» часть).

Архитектура КОМДИВ — это творческая переработка MIPS32, лицензированного НИИСИ в начале девяностых. Изначально институт работал с зарубежными фабриками, а после появления собственного производства начал работать на два фронта, переведя большую часть радстойкой линейки домой. Фабрика НИИСИ расположена в Москве, в Курчатовском институте; она была запущена в 2003 году и представляет собой мелкосерийное опытное производство, размещенное в герметичных кластерах на очень скромной площади. Фактически, усилиями академиков Бетелина, Валиева и Велихова была реализована модная сегодня концепция Minimal Fab, только нормально работающая и на пятнадцать лет раньше японцев (а первым её придумал в Минске В.А. Лабунов в 1983 году). Изначально фабрика работала с проектными нормами 500 нм, позже были освоены нормы 350 и 250 нм, а также технология «кремний на изоляторе», которая и стала основой радстойкой линейки НИИСИ.

Два главных достоинства процессора 1890ВМ1Т (объемная 500 нм технология, 50 МГц) — он работает и он отечественный. Но российские микросхемы настолько суровы, что для низкой орбиты (а именно для бортовых вычислителей новых «цифровых» космических кораблей «Союз-ТМА» и «Прогресс-М») этого хватает, несмотря на полное отсутствие какой-то специальной защиты от радиации. Для нормальной работы 1890ВМ1Т необходим чип-компаньон, отвечающий за работу с внешними интерфейсами (подобно тому, как на трех чипах был сделан ERC32). Для более серьезных условий были разработаны аналоги (серии 5890, 1900 и 1907) на технологии КНИ, позволяющей избавиться от тиристорного эффекта. При этом в чипах 1907 серии интерфейсный контроллер уже находится на том же чипе, что и сам процессор.

Как я уже говорил чуть выше, один из плюсов изучения продукции НИИСИ — обилие публикаций. Для примера возьмём две статьи, вышедшие в IEEE Transactions on Nuclear Science в 2011 и 2013 годах. Первая — M.S. Gorbunov et.al., «Analysis of SOI CMOS Microprocessor’s SEE Sensitivity: Correlation of the Results Obtained by Different Test Methods». В ней описан процессор на КНИ технологии 500 нм с тактовой частотой 33 МГц. Из заявленных архитектурных мер повышения сбоеустойчивости только контроль четности в кэш-памяти, где ошибка вызывает такое же прерывание, как и кэш-промах. Кроме этого, применена специальная топология транзисторов, подавляющая паразитный биполярный эффект и за счет этого увеличивающая порог сбоев (и заодно, по несвязанным причинам, повышающая стойкость к полной дозе излучения). Относительно несложно, но если главная цель — отказоустойчивость, то это ровно то, что нужно. А дальше, когда проблема отказов решена, можно начинать думать о сбоеустойчивости.

Вторая статья — P.N. Osipenko et.al., «Fault-Tolerant SOI Microprocessor for Space Applications». Здесь мы видим уже 350 нм вместо 500, и 50–66 Мгц вместо 33 (производительность 8.9 MFLOPS на 50 МГц). Это все еще не 150 МГц, как у полетевшего примерно тогда же в космос американского RAD750, но прогресс налицо. Еще интереснее — подробно описанная внутренняя структура чипа. Все ядро троировано — не триггеры, как в LEON-FT, а вся комбинационная логика. Это, разумеется, увеличивает в три раза площадь и потребление (1.8 Вт на 66 МГц), но помогает от сбоев не только в запоминающих элементах, но и в комбинационных тоже. Их намного меньше, чем в памяти, потому что они должны совпасть по времени с фронтом тактового сигнала, чтобы повлиять на что-то (и есть еще эффект маскирования, когда сбой не проходит через логику, но это частности), но если вы уже начали делать все как следует, то избавляться надо и от них.

lbbcaq3iebkentlkh4rflzhbe6y.png


Рисунок 17. Структурная схема процессора K32TMR.

Ядро разбито на несколько некрупных составных частей, на интерфейсах которых проводится голосование (итоги которого логируются). При необходимости, «блоки обеспечения надежности» вызывают прерывания, корректирующие ошибки, требующие внешнего вмешательства (например, повторной загрузки операндов в АЛУ). Сами эти блоки выполнены на транзисторах большего размера, чтобы повысить их помехоустойчивость (в том числе и к помехам, вызванным одиночными частицами). Так как троировать триггеры в уже троированной логике совершенно точно излишне, они стоят по одному, но содержат внутреннюю избыточность по образцу ячейки памяти DICE. Она же взята за основу всех регистровых файлов и кэшей процессора. Регфайлы дополнительно побайтно защищены кодом Хэмминга, кэши — контролем четности. Кроме этого, соседние биты кэшей физически разнесены в пространстве, чтобы минимизировать вероятность двух ошибок в одном байте, а неиспользуемая кэш-память постоянно читается в фоновом режиме, чтобы предотвратить накопление ошибок.

Как видите, в этом процессоре собрано все самое лучшее сразу — на всех уровнях, от библиотечных элементов до архитектуры. Такой подход позволяет добиться действительно выдающихся результатов — сечение насыщения сбоев на порядок ниже, чем у предшественника. На порядок ниже, но за счёт колоссального усложнения чипа. Невольно задаешься вопросом –, а точно ли нужно делать все настолько хардкорно? Для многих миссий, особенно не связанных с жизнью людей или критичными к скорости вычислениями (типа посадки на Луну) можно и нужно использовать более простые решения, позволяющие взамен сделать чип быстрее и энергоэффективнее. Для нетроированного чипа 1907ВМ01А4 на проектных нормах 0.25 мкм и потреблении 5 Вт заявлена производительность CPU 89 MIPS (на 100 МГц) и FPU 20 MFLOPS, для троированного 1907ВМ044 на 66 МГц и 9 Вт — 49 MIPS и 14 MFLOPS соответственно. В итоге, судя по большой диаграмме и описаниямF с официального сайта, НИИСИ продолжает развивать и троированные ядра, и обычные.

emo_fgjtrkzinlgpk0im_efgjeo.png


Рисунок 18. Диаграмма о разработке микросхем с официального сайта НИИСИ (выделения мои). В красных овалах — чипы с троированным ядром. Все, что сделано по КНИ технологии — радстойкое.

Из диаграммы видно, что НИИСИ сначала улучшали технологию, а потом на лучших доступных нормах по КНИ развернулись как следует. Самая интересная для нас часть таблицы — верхний левый угол, обещающий развитие троированного радстойкого микропроцессора на технологии 65 нм. Никакой конкретной информации об этом процессоре в интернете, конечно же, нет, но нам на помощь снова приходят публикации, позволяющие посмотреть на исследования радстойкости по 65 нм –, а первые статьи по этому поводу датированы аж 2012 годом.

А теперь наконец-то суб-100


8suxvgjqy6lhtf-sofbhfniuues.png


Рисунок 19. Множественные сбои в памяти на примере 65 нм тестового кристалла.

На рисунке показаны результаты попадания одной заряженной частицы разного типа (почти все благородные газы отметились) в массив памяти, выполненный по технологии 65 нм. Слева — обычная память, справа — специально спроектированная радстойкая. Десять сбоев от одного попадания! Не два, не три — десять. Этот эффект вызван тем, что размеры элементов микросхемы постоянно уменьшаются, а вот размер области, из которой собирается избыточный заряд при попадании заряженной частицы остается таким же (около 2–2.5 мкм) — потому что этот размер зависит от диффузии заряда по кристаллу. И вот технология дошла до состояния, когда ячейка памяти достаточно маленькой, чтобы любое попадание накрывало сразу много ячеек. То, что это именно диффузия, видно из специфической формы пораженных областей — ровно два столбца, а дальше вправо и влево распространения нет. Отдельно обратите внимание на самый правый столбец — это сбои от протонов, составляющих основную часть солнечной радиации. Они — причина, по которой не стоит просто так запускать за радиационные пояса Земли современные коммерческие чипы (Элон Маск, я сейчас смотрю на тебя и твой полет к Марсу). В правой части рисунка — данные по аналогичной памяти, но радстойкой. Как видите, существенная часть проблем с множественными сбоями (а заодно и со всем остальным) решена — вот только площадь такой ячейки памяти в несколько раз больше обычной. И я даже не буду начинать про то, как собрать на 65 нм ячейку DICE со всеми разнесенными в пространстве транзисторами, попутно перемешав две или четыре таких ячейки для экономии места и не запутавшись в получившейся многоуровневой лапше из металлизации. Впрочем, среди публикаций НИИСИ есть и такие работы.

m17_ytgicl1hh45kdgyrxjoikgy.png


Рисунок 20. Сравнение топологии обычной 6Т ячейки памяти (справа вверху) и радстойкой версии из библиотеки DARE65 (IMEC, Бельгия). Ярко-синие — затворы, коричневый — активный кремний.

С троированными триггерами тоже весело — для того, чтобы два запоминающих элемента не сбились от одной и той же частицы, их надо разнести на те самые 2–2.5 микрона. В 180 или 350 нм это несложно, а вот по нормам 65 нм площадь троированного триггера получается в двенадцать раз больше, чем у обычного (и большая часть этой площади — пустая). В итоге в точки зрения и потребления, и площади, и простоты дизайна в САПР схема со сквозным троированием, выполненная на полностью стандартных элементах, разнесенных достаточно далеко друг от друга, получается выгоднее, чем применение готовых троированных триггеров и других базовых элементов с внутренней избыточностью.

zh3dnayd4wppjyyp31fyahxp1sk.png


Рисунок 21. Тройное модульное резервирование и двойное модульное резервирование с самоголосованием. Из статьи J.Teufel, «Self-Voting Dual-Modular-Redundancy Circuits for
Single-Event-Transient Mitigation», IEEE Transactions on Nuclear Science, 2008 (Sandia Labs все еще с нами, точнее все еще с ними)

Схема на рисунке датирована аж 2008 годом и показывает, что в менее публичных продуктах, чем RAD750 (а основная сфера деятельности Sandia Labs — американская военная ядерная программа) наши заклятые друзья тоже используют много разного интересного. В частности, в упомянутой выше статье и в некотором количестве других недавних публикаций подробно разбирается вопрос того, как в разных по важности частях чипа применять совместно тройное и двойное модульное резервирование. И, кстати, если у элемента голосования достаточно большая задержка, то он в схеме с двойным резервированием будет фильтровать одиночные сбои в логике, и результат будет настолько же стойким, как и тройное резервирование.

А теперь давайте посмотрим, как выглядят библиотечные элементы на технологии 65 нм. Цитирую опять же работу из НИИСИ — Ю.Б. Рогаткин и др., «Разработка библиотеки радиационно-стойких элементов по 65 нм КМОП технологии», Труды НИИСИ РАН, 2018 год. Так как забота о сбоеустойчивости практически полностью перенесена на другие уровни разработки — архитектуру и автоматический синтез топологии с учетом ограничений на расположение элементов — то основными задачами разработчиков библиотек элементов снова стали защита от полной поглощенной дозы и тиристорного эффекта.

sgiokvf8vettc92vr3oto9vhviu.png


Рисунок 22. Логические ячейки, выполненные по технологии 65 нм.

Самый левый элемент на рисунке — обычный библиотечный инвертор.

Второй элемент — его радстойкая версия, снабженная охранными кольцами, предотвращающими тиристорный эффект. Важно, что у кольца контакты к металлу только с одной стороны, и надо иметь в виду сопротивление слоя кремния, которое может быть достаточно большим, чтобы повлиять на эффективность этого решения.

Третий — все тот же инвертор, у которого для экономии площади боковые стороны охранного кольца отрезаны.

Четвертый — он же, но с контактами к внешней части охранных колец, чтобы хорошо контролировать их сопротивление и не заботиться о том, как именно они собраны в блоки.
Пятый — блок из двух инверторов и элемента 2ИНЕ с показанными закрывающими частями охранных колец.

Что касается полной дозы излучения, то здесь на суб-100 нм нормах все даже проще и понятнее, чем на старых технологиях. Токи утечки в них уже есть безо всякой радиации, на них и так все закладываются, осталось только ввести дополнительную поправку на то, что они будут расти еще. В типичных технологиях такого уровня обычно предлагается три варианта транзисторов — с низкими пороговым напряжением (быстрые, но с большими утечками), со средним пороговыми напряжением и с высоким пороговым напряжением (медленные, но с маленькими утечками), и пользователь может комбинировать их при необходимости. Стандартные библиотеки обычно тоже сделаны в трех вариантах, а при проектировании радстойкой надо подобрать компромисс между скоростью и утечками, учитывая то, соединены транзисторы последовательно или параллельно.

gxel3dzcgvoapo8jywmchzb8agu.png


Рисунок 23. Схемы логических элементов 2И-НЕ и 2ИЛИ-НЕ.

В элементе 2ИЛИ-НЕ n-канальные транзисторы соединены параллельно, что удваивает утечку, а значит имеет смысл применить в этом месте транзисторы с более высоким пороговым напряжением. А в 2И-НЕ они соединены последовательно, и там можно оставить обычный порог транзисторов. И такие рассуждения (желательно подкрепленные данными измерений) нужно применить ко всем нескольким сотням элементов в библиотеке, а потом еще подумать о том, что делать с запоминающими элементами, чтобы они меньше сбивались, и чтобы утечки через аналоговые ключи, обычно применяемых в современных триггерах, все не сломали, и так далее и тому подобное.

По состоянию на сегодняшний день в НИИСИ существует полноценная платформа для разработки на проектных нормах 65 нм, включающая библиотеки, IP-блоки, компиляторы памяти, скоростные интерфейсы и т.д. Важно также то, что эта платформа лицензируется другим российским компаниям, что позволяет ускорить преодоление отставания от американцев, а европейцев практически нагнать. Если бы еще фабрика была не TSMC, а своя, как в Америке и Европе… Но это уже другая история, которая разворачивается на наших глазах. 65 нм техпроцесс «Микрона» после 2014 года застыл в статусе «проходит квалификацию и освоение в производстве», и новостей о нем уже довольно давно нет; зато в последние несколько месяцев было достаточно новостей о долгосрочных планах создать в России производство по нормам 28 нм. Когда эти планы будут реализованы и будут ли — большой вопрос.

Подытоживая эту часть, отметим, как с уменьшением проектных норм ещё раз изменились задачи, стоящие перед разработчиками. Глубоко субмикронные технологии имеют стойкость к полной дозе радиации, достаточную для большинства применений, и позволяют организовать защиту от тиристорного эффекта и одиночных/множественных сбоев на этапе разработки чипа, без модификации исходного техпроцесса. Это помогает удешевить производство и ускорить освоение новых технологий. Главные тормоза прогресса — экономические: разработка и всестороннее изучение как тестовых, так и «боевых» чипов серьезно дорожают с каждым новым поколением технологии, а мизерные тиражи космических микросхем не позволяют нормально компен

© Habrahabr.ru